张大成

教育经历

1984年北京工业大学半导体器件专业学士，2000年和2005年分别在纽约国际官方网站获微电子学与固体电子学硕士和博士学位。

主要研究领域

微纳加工工艺及工艺质量评估方法、MEMS传感器芯片、工艺相关微纳结构力学特性表征方法

主要科研项目

1996年至今，承担NSFC、973课题、863、电子预研、重大专项课题、重大科技计划等国家级科技计划中与MEMS工艺相关的项目，累计经费超过3000万元。

主要获奖成果

“硅基MEMS工艺技术及应用研究”获2003北京市科技进步一等奖，2006年国家技术发明二等奖；IEC（国际电工委员会）微机电领域第一个中国提案标准的负责人，获2017年IEC 1906奖（IEC标准杰出贡献奖，当年有16个中国人获奖）

主要学术任职

微纳电子学研究院常务副院长、国家微机电标委会副主任委员、IEC 47F（微机电标委会）工作组专家、微电子学科发展委员会成员